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6.2 多重图形技术（Multiple Patterning） 第六章：先进光刻技术 6.2 多重图形技术（Multiple Patterning）：在物理极限边缘重构空间秩序的系统性工程 当波长为193 nm的ArF浸没式光刻机——这台曾被誉为“人类精密制造巅峰之作”的光学仪器——在22 nm节点遭遇分辨率公式 $\mathrm{CD} = k1 \cdot \lambda / \mathrm{NA}$… 会员。《6.2 多重图形技术（Multiple Patterning）》收录于灏天文库文集《光刻工艺学》，原作者/来源：灏天文库，整理自「灏天文库」，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。本站整理收录，版权归原作者/开源协议所有。

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作者与出处

原作者： 灏天文库

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原文： https://aiknowledge.cn/collection/857-%E5%85%89%E5%88%BB%E5%B7%A5%E8%89%BA%E5%AD%A6

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