1.2.2.1 漂移运动:迁移率($\mu$)、散射机制(杂质、声子、表面散射)


文档摘要

1.2.2.1 漂移运动:迁移率($\mu$)、散射机制(杂质、声子、表面散射) 当迁移率突然“掉链子”:一个在28nm FD-SOI工艺中定位表面散射主导失效的实战手记 凌晨两点十七分,Fab厂传来消息:新流片的低功耗AI协处理器芯片,在-40°C低温老化后,基准测试中的MAC单元延迟跳变+18.7%,良率跌至63%。ATE测试数据曲线像被锯齿啃过——不是全盘失效,而是呈现强温度依赖性、强偏压敏感性、且仅在nMOS器件上复现。设计团队第一反应是阈值电压漂移或漏电异常;版图组怀疑STI应力不均;可靠性工程师直指HCI退化……但所有常规排查路径在48小时内全部碰壁。


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