1.2.3.2 连续性方程(Continuity Equation)与扩散长度 1.2.3.2 连续性方程(Continuity Equation)与扩散长度:一个被低估的“时间-空间耦合陷阱”——来自硅基光电探测器量产线的真实故障复盘 凌晨两点十七分,Fab 3B洁净室第7号光刻机台报警灯第三次亮起。不是光刻胶厚度偏差,不是套刻误差超限,而是——同一片晶圆上,相邻两列PIN光电二极管的响应非线性度(INL)标准差突然从0.8%飙升至4.3%,且仅出现在长波段(940 nm)。工艺工程师盯着AOI图像里那条若隐若现的、沿晶向延伸的浅色条纹,皱眉不语。良率报表上,“暗电流异常升高”与“响应速度衰减”两个标签正以每小时0.15%的速度同步爬升。 这不是器件失效,也不是封装污染。