2.2.2 欧姆接触（Ohmic Contact）

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2.2.2 欧姆接触（Ohmic Contact）欧姆接触——这四个字在半导体器件工艺手册里轻描淡写，在晶圆厂的洁净室中却重若千钧。它不是教科书里那个理想化的零势垒、线性I-V曲线的抽象符号；它是光刻对准误差小于50 nm时，Ti/Al/Ni/Au叠层在GaAs衬底上经720 °C快速热退火（RTA）后，实测比接触电阻率ρc跌至$2.3 \times 10^{-7}\Omega \cdot \text{cm}^2$的物理现实；它是SiC功率MOSFET流片良率从68%跃升至91%的关键拐点；更是第三代半导体器件从实验室走向800 V/100 A车载OBC模块的最后一道工艺闸门。你或许见过无数张I-V测试曲线：那条近乎完美穿过原点的直线，被标注为“ohmic”。