文档摘要

2.2.2 欧姆接触（Ohmic Contact） 欧姆接触——这四个字在半导体器件工艺手册里轻描淡写，在晶圆厂的洁净室中却重若千钧。它不是教科书里那个理想化的零势垒、线性I-V曲线的抽象符号；它是光刻对准误差小于50 nm时，Ti/Al/Ni/Au叠层在GaAs衬底上经720 °C快速热退火（RTA）后，实测比接触电阻率ρc跌至$2.3 \times 10^{-7}\Omega \cdot \text{cm}^2$的物理现实；… 会员。《2.2.2 欧姆接触（Ohmic Contact）》收录于灏天文库文集《半导体器件物理》，提供技术教程、实践指南与问题解决方案，支持在线阅读、全文检索与知识沉淀，助力开发者系统化学习。文档编号62819。

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