6.1 器件仿真（TCAD）技术

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6.1 器件仿真（TCAD）技术第六章：半导体物理表征、模拟与生态系统 6.1 器件仿真（TCAD）技术：在原子尺度与电路行为之间架设可计算的物理桥梁当我们站在硅基文明的高处回望，半导体器件早已不是一块掺杂的晶片、几道光刻的线条，或一组抽象的I-V曲线——它是一套精密耦合的多物理场系统：电荷在非均匀势场中漂移与扩散，在强电场下碰撞电离，在界面处隧穿与复合，在纳米尺度上受量子限制，在皮秒时间尺度上演化载流子分布。而将这一复杂物理现实转化为可预测、可优化、可复现的工程语言，正是技术计算机辅助设计（Technology Computer-Aided Design, TCAD）的核心使命。 TCAD不是CAD工具的简单延伸，亦非数值软件的泛化应用；