1.1 晶圆制备与光刻基础


文档摘要

1.1 晶圆制备与光刻基础 1.1.1 半导体材料科学与晶体生长 硅晶体基础性质 半导体制造的核心基础是高纯度硅晶体。现代GPU制造所使用的硅材料需要达到99.999999999%(11个9)的纯度,任何杂质都会严重影响器件性能。硅的原子结构为金刚石立方结构,每个硅原子与周围四个硅原子形成共价键,这种结构为半导体特性提供了基础。 晶向与晶面: [100]晶向:最常见的晶圆切割方向,易于刻蚀和生长 [110]晶向:电子迁移率较高,适合某些高速器件 [111]晶向:原子密度最高,表面能稳定 !


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