1.3 互连工艺与后端制程(BEOL) 1.3.1 金属互连技术发展历程 互连技术概述 互连技术是集成电路制造中的核心组成部分,负责芯片内部各个元器件之间的电气连接。随着工艺节点的不断缩小,互连技术也经历了从简单的铝互连到复杂的铜互连,再到如今的先进多层互连系统的演进。 互连技术的重要性: 信号传输:确保信号在各模块间正确传输 电源分配:为各个功能模块提供稳定的电源 散热路径:为芯片提供有效的散热通道 集成度提升:支持更高的电路集成度 !